DC 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치

우리의 후이센스퍼터링 전원 공급 장치첨단 PWM 펄스 폭 변조 기술을 채택하고, 수입 IGBT 또는 MOSFET을 전력 스위칭 소자로 사용하여 소형, 경량, 완벽한 기능, 안정적이고 신뢰할 수 있는 성능, 엄격하고 완벽한 생산 공정 등의 특징을 갖추고 있습니다.

저희 시리즈전원 공급 장치본 제품은 첨단 DSP 제어 시스템을 채택하여 코팅 공정의 반복성을 완벽하게 보장하며, 대상물의 아크 방전 및 단락 저항 억제 기능을 갖추고 있습니다. 또한 뛰어난 부하 매칭 능력을 통해 대상물 표면 세척 공정의 안정성을 확보할 뿐만 아니라 세척 속도까지 향상시킵니다. 주요 매개변수는 넓은 범위에서 연속적으로 조절 가능하며, 유지보수가 편리하고 신뢰성이 높습니다. PLC 인터페이스와 RS485 인터페이스를 통해 자동 제어 기능을 확장할 수 있습니다.

주요 특징은 다음과 같습니다.

1. 고급 전류 모드 채택스위칭 전원 공급 장치이 기술은 출력 에너지 저장 요소를 줄이는 동시에 스파크 억제 및 재시동 속도를 향상시키며, 특히 알루미늄 타겟 코팅에서 더욱 뚜렷한 장점을 보여줍니다.

2. 정전류/정전력 모드를 사용할 수 있습니다. 기존의 정전류 모드와 비교하여 정전력 모드는 코팅 공정의 반복성을 보장할 수 있습니다.

3. 이상적인 전압 급강하 특성을 가지고 있으며, 오점화를 자동으로 식별할 수 있어 마그네트론 스퍼터링 공정의 연속성을 완벽하게 충족합니다.

4. 우수한 음극 스퍼터링 성능, 다양한 금속 또는 비금속 타겟의 안정적인 스퍼터링.

5. 수동 제어/아날로그 인터페이스 제어를 선택할 수 있으며, RS485 통신 인터페이스를 선택할 수 있습니다.

6. 그DC 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치이 제품은 실험용 진공 장비에 특화된 맞춤형 제품으로, 양산형 장비에 비해 전력 소비량과 비용을 절감하여 고객의 경제적 부담을 줄여줍니다.

7. 마이크로초 단위의 아크 소멸은 점화로 인한 불량품 발생 현상을 완전히 제거할 수 있습니다.

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