DC 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치

우리의 호이센스퍼터링 전원 공급 장치고급 PWM 펄스 폭 변조 기술을 채택하고 수입 IGBT 또는 MOSFET을 전력 스위칭 장치로 사용하며 작은 크기, 가벼운 무게, 전체 기능, 안정적이고 신뢰할 수 있는 성능, 엄격하고 완벽한 생산 공정의 특성을 가지고 있습니다.

우리의 시리즈전원 공급 장치제품은 코팅 공정의 반복성을 완벽하게 보장하고 대상의 아크 방전 및 단락 저항을 억제하는 기능을 갖춘 고급 DSP 제어 시스템을 채택하고 대상 표면의 안정성을 보장할 뿐만 아니라 탁월한 부하 매칭 능력을 갖추고 있습니다. 청소 공정뿐만 아니라 대상 표면 청소 속도도 향상됩니다.주요 매개변수는 넓은 범위에서 지속적으로 조정될 수 있습니다.편리한 유지 관리 및 높은 신뢰성;PLC 인터페이스와 RS485 인터페이스는 기능을 확장하여 자동 제어를 용이하게 합니다.

주요 특징은 다음과 같습니다.

1. 고급 전류 모드 채택스위칭 전원 공급 장치출력 에너지 저장 요소를 줄이는 기술.동시에 스파크 억제 및 재시동 속도를 향상시키고 알루미늄 타겟 코팅에 더욱 확실한 이점을 제공합니다.

2. 정전류/정전력 모드를 사용할 수 있습니다.기존의 정전류 모드인 정전력 모드와 비교하여 코팅 공정의 반복성을 보장할 수 있습니다.

3. 이상적인 전압 급강하 특성을 가지며 자동으로 잘못된 점화를 식별할 수 있으며 마그네트론 스퍼터링 공정의 연속성을 완전히 충족합니다.

4. 우수한 음극 스퍼터링, 다양한 금속 또는 비금속 타겟의 안정적인 스퍼터링.

5. 수동 제어/아날로그 인터페이스 제어를 선택할 수 있으며, RS485 통신 인터페이스를 선택할 수 있습니다.

6.DC 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치생산 장비에 비해 실험용 진공 장비에 특별히 맞춤화되어 고객의 전력량과 비용을 절감합니다.

7. 마이크로초 아크소호는 발화로 인한 제품 불량 현상을 완전히 제거할 수 있습니다.

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