DC 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치

우리의 후이센스퍼터링 전원 공급 장치첨단 PWM 펄스 폭 변조 기술을 채택하고, 수입 IGBT 또는 MOSFET을 전력 스위칭 소자로 사용하며, 소형, 경량, 완벽한 기능, 안정적이고 신뢰할 수 있는 성능, 엄격하고 완벽한 생산 공정이라는 특징을 갖추고 있습니다.

우리의 시리즈전원 공급 장치제품은 첨단 DSP 제어 시스템을 채택하여 코팅 공정의 반복성을 충분히 보장하고, 타겟의 아크 방전과 단락 저항을 억제하는 기능을 갖추고 있으며, 부하 매칭 능력이 뛰어나 타겟 표면 세척 공정의 안정성을 보장할 뿐만 아니라 타겟 표면 세척 속도도 향상시킵니다. 주요 매개변수는 넓은 범위에서 지속적으로 조정할 수 있습니다. 편리한 유지 보수와 높은 신뢰성을 제공합니다. PLC 인터페이스와 RS485 인터페이스는 기능을 확장하여 자동 제어를 용이하게 합니다.

주요 특징은 다음과 같습니다.

1. 고급 전류 모드 채택스위칭 전원 공급 장치출력 에너지 저장 소자를 줄이는 기술입니다. 동시에 스파크 및 재시동 억제 속도를 향상시키고, 알루미늄 타겟 코팅에서 더욱 뚜렷한 이점을 제공합니다.

2. 정전류/정전력 모드를 사용할 수 있습니다. 기존의 정전류 모드와 비교하여 정전력 모드는 코팅 공정의 반복성을 보장합니다.

3. 이상적인 전압 강하 특성을 갖추고 있으며, 자동으로 오점화를 식별할 수 있어 마그네트론 스퍼터링 공정의 연속성을 완벽하게 충족합니다.

4. 양호한 캐소드 스퍼터링, 다양한 금속 또는 비금속 타겟의 안정적인 스퍼터링.

5. 수동 제어/아날로그 인터페이스 제어를 선택할 수 있으며, RS485 통신 인터페이스를 선택할 수 있습니다.

6. 그DC 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치실험용 진공 장비에 특별히 맞춤 제작되어 생산 장비와 비교했을 때 고객의 전력량과 비용을 줄여줍니다.

7. 마이크로초 아크소호는 발화로 인한 제품불량현상을 완벽하게 제거할 수 있습니다.

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